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權(quán)威快報|芯片制造關(guān)鍵設(shè)備再突破!離子注入機實現(xiàn)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化
發(fā)布時間:2021-03-17 11:10:00

  中國電子科技集團有限公司17日對外公布,該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術(shù),已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化,包括中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機,工藝段覆蓋至28nm,為我國芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈補上重要一環(huán),為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案。(記者溫競?cè)A,海報設(shè)計:賈伊寧)

  來源:新華社“新華視點”微博

千島湖新聞網(wǎng) 責(zé)任編輯:姜智榮

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