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 荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商阿斯麥爾（ASML）近日宣布，或?qū)⑼七t向中國半導(dǎo)體制造商交付極紫外光光刻機（EUV）。該公司發(fā)言人表示，此決定是因為出口許可證到期，目前正在向荷蘭政府申請新的許可證。

作為極紫外光刻芯片工具（EUV）的全球唯一供應(yīng)商，延遲發(fā)貨將對中國芯片制造造成重?fù)?。而此次受到影響的中國公司，疑為中芯國際（SMIC）。

日經(jīng)新聞援引消息人士的話稱，ASML成為美國政府的“犧牲品”，“延遲發(fā)貨”的一大原因來自于美國政府的壓力。

對此，ASML在7日回應(yīng)，指出公司正在申請許可證，但日經(jīng)新聞所述“延遲出貨”僅為其媒體推測，ASML對此事從未評論或確認(rèn)。

中芯國際也就此事回應(yīng)稱，公司的EUV還處于“紙面工作”階段，尚未進(jìn)行相關(guān)活動。中芯國際強調(diào)，目前，公司的先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利，研發(fā)與生產(chǎn)的連接一切正常，客戶與設(shè)備導(dǎo)入均正常運作。

極紫外光光刻機（EUV），圖自ASML官網(wǎng)

日媒：受到美國政府的壓力

據(jù)路透社6日報道，該公司發(fā)言人莫尼克·莫爾斯（Monique Mols）表示，根據(jù)瓦圣納協(xié)議，ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可。該出口許可于今年到期，ASML已經(jīng)于到期前重新進(jìn)行申請，目前正在等待荷蘭政府核準(zhǔn)，預(yù)計將耗資1億歐元（約7.7億元人民幣）。

他說：“ASML只是在遵守法律。法律規(guī)定，出口裝運EUV需要出口許可證?，F(xiàn)在我們已經(jīng)重新申請?！?/p>

《日經(jīng)新聞亞洲評論》則在6日的報道稱，ASML此次推遲發(fā)貨并不僅僅是許可證問題，而是受到來自美國政府的壓力。

“因美國壓力決定延遲發(fā)貨”，日經(jīng)新聞報道

報道援引消息人士稱，ASML暫時決定推遲EUV設(shè)備的交付，“是因為它不想讓美國政府對此感到不安”，因為EUV是目前最先進(jìn)的芯片光刻機。

他補充道：“但與此同時，考慮到中國是現(xiàn)如今增長最快的芯片市場，ASML也不想讓中國及其中國客戶對此失望不滿?！?/p>

據(jù)日經(jīng)新聞數(shù)據(jù)，ASML公司92億美元（約644億元人民幣）的2018年年度銷售額中，約有16%來自英特爾和美光等美國公司。另外，ASML制造機器所需的零部件，有五分之一是在美國工廠生產(chǎn)的。

而中國市場對于ASML也變得日漸重要：2018年，該公司19%的銷售額來自中國。

該知情人士表示，原計劃在2019年底交付給中國公司的EUV光刻機，將預(yù)計延遲至2020年年中。

被延遲發(fā)貨的中國廠商疑為中芯

據(jù)日經(jīng)新聞報道，作為中國首家訂購EUV的中國芯片制造商，中芯國際被認(rèn)為是此次受影響的訂購商。盡管據(jù)路透社報道，ASML尚未就此事做出證實。

目前，業(yè)內(nèi)已達(dá)成共識，必須使用EUV光刻機才能使半導(dǎo)體芯片進(jìn)入7nm，甚至5nm時代。

去年5月，中國最大的芯片制造公司中芯國際向荷蘭ASML訂購了首臺EUV光刻機，價值1.2億美元，幾乎相當(dāng)于該司2017年全部凈利潤。光刻機原計劃于2019年年初交付。

而在去年12月，臨近交貨時間，ASML突發(fā)大火。根據(jù)官網(wǎng)信息，火災(zāi)摧毀元件供應(yīng)商Prodrive工廠的部分庫存、生產(chǎn)線，因此，2019年年初供貨情況預(yù)計將會遞延。

2019年已經(jīng)臨近尾聲，EUV仍未交付至中芯，并再次面臨“延遲通知”的風(fēng)險。而ASML將此歸因于出口許可證到期。

ASML回應(yīng)：“延遲出貨”僅為其媒體推測

ASML于7日向《科創(chuàng)板日報》澄清稱，關(guān)于日經(jīng)新聞有關(guān)中芯國際相關(guān)報道有誤，“延遲出貨”僅為其媒體推測，ASML從未評論或確認(rèn)，對其將推測直接定性為事實作為新聞標(biāo)題并在文中闡述，表示抗議。ASML強調(diào)，對全球客戶一視同仁。

ASML最新回應(yīng)，微博@財聯(lián)社APP 截圖

7日下午，中芯國際也就此事向《上海證券報》回應(yīng)稱，公司的EUV還處于“紙面工作”階段，尚未進(jìn)行相關(guān)活動。中芯國際強調(diào)，目前，公司的先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利，研發(fā)與生產(chǎn)的連接一切正常，客戶與設(shè)備導(dǎo)入均正常運作。

光刻機是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的核心設(shè)備之一，ASML公司則是這個行業(yè)內(nèi)的領(lǐng)軍企業(yè)。尤其EUV光刻機上，ASML處于“壟斷”地位——這家公司是全球唯一能生產(chǎn)EUV的企業(yè)。

EUV光刻機作為現(xiàn)今最先進(jìn)的芯片制造設(shè)備，是唯一能夠生產(chǎn)7nm以下制程的設(shè)備，因此，其也被稱為“突破摩爾定律的救星”。

       來源：觀察者網(wǎng)

千島湖新聞網(wǎng) 責(zé)任編輯：方志隆